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DISCO Corporation。Collection of technological know-how examples to solve processing problems Kiru, Kezuru, Migaku Topics New! Latest technology topics focused on a single theme Applications Example New! Collection of processing examples covering a wide variety of materials and processes。
disco DFG8540研磨機資料 - Package Equipment[封裝設備] - 半導體技術天地 - 工程師的家園,專注于電子電路,半導體芯片,集成電路,太陽能電池,MEMS,LED等行業領域。各位兄臺,可曾遇到過此問題,基本上在做每一片wafer的時候都會出現此問題,希望哪位高人能提供一些建議,小弟在此深表謝意。 DFG8540 Chuck wash brush can not move down to operation pos!!!Chuck Wash Brush 不能向下動作問題,建議使用手動操作(Handy Panel)做檢查,問題不外乎在氣動(氣流量調解、氣缸本身、電磁閥等)或Sensor檢測部分?。?!謝謝你的建議,但是類似的動作我們都有做過,調節氣缸氣壓,sensor的位置等等,奇怪的是在做warm up 的時候是ok的。隻是在跑production的時候幾乎是每片wafer會出現。很是頭疼阿真是讓人失望??!" q' }& ^+ L3 [8 R3 E$ a4 `14。
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